Page 88 - 中日工程技術研討會_大會手冊
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半導體組
分組召集人 / 議題主持人
陳德懿 營運長
組 別 半導體組
主辦單位 崇越科技股份有限公司
議題名稱 17-1 信越光阻材料的關鍵技術
議題 聯絡人 黃淑禎 協理
電子郵件 shuchen.huang@topco-global.com
主講人
石原 俊信
勤務先・職位 信越化学工業（株） 顧問
最終学歴 1970 年 3 月 名古屋大学工学部卒
專門分野 有機合成化学
講演題目 信越光阻材料的關鍵技術
Key Technology Items of Shin-Etsu PR Materials
講演概要 化学増幅型フォトレジストは KrF、ArF そして EUV の最先端リソグラフィー
に応用された。信越化学はれらの化学増幅型フォトレジストを KrF、ArF そし
て EUV の世代ごとに独自技術で開発を進めて工業的使用に提供してまました。
主要職歷 ￭ 研究開発職にて新規事業の立上げを実施 .
￭ 合成フェロモン事業、フォトレジスト事業、ブランクス事業
組 討 研 分
半 - 導 組 體
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